Een belangrijke complicerende factor was dat bij het opheffen vrijwel geen vuildeeltjes mogen vrijkomen, en zeker geen organische materialen zoals vet. Wanneer de vacuümkamer in bedrijf is, vindt daar namelijk een lithografisch proces plaats waarbij chips worden geproduceerd die duizenden schakelingen bevatten, met afmetingen in het nanometergebied. Elke verontreiniging die na het onderhoud achterblijft, hoe klein ook, kan dit proces verstoren.

Tegelijkertijd moet het deksel snel worden opgetild en weer teruggeplaatst. Deze productiemachine is per slot van rekening tientallen miljoenen euro’s waard. Elk uur stilstand kost dus veel geld. Een extern hefgereedschap was daarom geen optie. Het gereedschap moest geïntegreerd worden en zeer compact zijn. Bovendien moeten de hijswerkzaamheden zeer veilig worden uitgevoerd: letsel en schade aan materialen moeten te allen tijde worden voorkomen.

solution
Aalberts Advanced Mechatronics ging deze uitdaging aan. Wij ontwikkelden een ontwerp en testten de werking uitvoerig met behulp van computersimulaties. Na een uitgebreide kwalificatie door de klant bouwden we een prototype, dat we aan zeer grondige fysieke tests onderwierpen.

Ons gereedschap, de Top Module Service Unit (TMSU), is zo ontworpen dat er absoluut geen organische deeltjes vrijkomen tijdens het hijsen. De toegepaste lagers, aandrijfriemen en vergrendelingen functioneren goed zonder olie. Om te voorkomen dat het deksel op enig moment gaat slingeren, wordt het over rails getransporteerd, eerst omhoog en dan zijwaarts. En omdat het werktuig zeer compact is en in de machine van de klant kan worden geïnstalleerd, kan het deksel in enkele minuten worden opgetild en weer teruggeplaatst. Het proces is volledig geautomatiseerd. Er is slechts één druk op de knop voor nodig.

‘Reinheid was de grootste uitdaging die we moesten aangaan.’ Andreas Birkner, technisch directeur – automatisering’