mechatronic (sub) systems

volledig gekwalificeerde mechatronische modules en platforms

High-tech industrieën eisen de hoogste prestaties van hun apparatuur, terwijl de omstandigheden op het gebied van reinheid en stofzuigen uitdagend zijn, de doorvoercapaciteit moet worden gemaximaliseerd, de voetafdruk minimaal moet zijn en de veiligheid moet worden gewaarborgd. Voortbouwend op haar expertise op het gebied van mechatronisch ontwerp van high-end modules en geïntegreerde platforms, heeft Aalberts advanced mechatronics zich gericht op het ontwikkelen, produceren en installeren van mechatronische (sub)systemen voor veeleisende toepassingen in de halfgeleiderindustrie en daarbuiten.

Aalberts advanced mechatronics is gespecialiseerd in mechatronische engineering en productie van vacuümsystemen en atmosferische systemen en biedt OEM’s een single-source kwaliteitsaankoop en volledige levenscyclusondersteuning voor geïntegreerde mechatronische (sub)systemen die volledig gekwalificeerd zijn en voldoen aan de relevante vacuümeisen en reinheidsnormen.

technologiesmechatronical (sub) systems

Wij zijn actief op verschillende markten en gebruiken sleutelcompetenties, expertise en producten om onze bedrijfskritische technologieën aan te passen aan de specifieke behoeften en eisen van de klant.

geïntegreerde apparatuurmodules

Het ontwerp van hoogwaardige mechatronische (sub)systemen vereist de integratie van automatiserings-/hanteringstechnologie, trillingsisolatie, vacuümtechnologie en vloeistofregeling. Geïntegreerde mechatronische modules en platforms kunnen worden gekwalificeerd met betrekking tot dynamische prestaties, doorvoercapaciteit en zuiverheid voor vacuümtoepassingen zoals lithografie, metrologie en materiaaldepositie, en atmosferische toepassingen zoals optische inspectie en atoomkrachtmicroscopie.

complete frames

Functionele modules kunnen worden geïntegreerd met (ultra) grote machineframes om complete (sub)systemen te leveren die voldoen aan uitdagende eisen met betrekking tot mechatronische prestaties en structurele integriteit. Geavanceerde assemblagefaciliteiten, die processen van precisiebewerking en lassen tot en met reiniging afdekken, zorgen ervoor dat aan alle eisen op het gebied van vacuüm en reinheid wordt voldaan.

service lifting

Gereedschappen voor het onderhoud van apparatuur in de wafer fab moeten een verscheidenheid aan ladingen heffen, variërend van relatief lichte componenten tot massieve subassemblies met afmetingen tot 4 m x 4 m. Deze gereedschappen kunnen integreren met de individuele apparatuur die wordt bewerkt, zonder enige toename van de voetafdruk, of bieden een breder scala aan oplossingen, en ze zijn allemaal compatibel met vacuüm apparatuur.

mask and wafer handling

Zogenaamde EFEM (Equipment Front End Module) systemen voor het verwerken van maskers en wafers zijn voorzien van laadpoorten die automatisch verschillende cassettes met maskers of wafers kunnen openen. Gebaseerd op uitgebreide ervaring in ontwerp, productie en precisie-assemblage, voldoen deze EFEM’s aan de hoogste industrienormen met betrekking tot reinheid en prestaties, terwijl ze werken op de kleinste footprint.

complete robot oplossingen

Material handling en andere mechatronische systemen bestaan meestal uit robots die zijn uitgerust met eindeffectoren en sensoren. Standaard SCARA eenarmige robots kunnen worden aangevuld met een tweede arm voor een hogere doorvoercapaciteit. Eindeffectoren zoals grijpers en voice-coil actuators worden geselecteerd voor de specifieke toepassing. Een verscheidenheid aan sensoren biedt oplossingen voor het ‘lezen’ van identificatiecodes, het volgen van het materiaal tijdens de verwerking en het scannen van de omgeving om een storingsvrije werking te garanderen.

contact Geïnteresseerd in advanced mechatronics?

We zijn hier om te helpen. Laat u adviseren over hoe we oplossingen voor uw problemen kunnen ontwikkelen of kom meer te weten over ons aanbod.